在半導體、集成電路、太陽能光伏、液晶、微電子等行業(yè)領域中，特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險性重大的設施或場所。特種氣體是有著易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險性質的氣體，一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員、廠房、設備的嚴重損失。

    如特種氣體中的硅烷(SiH4)為自燃性，一旦泄漏就會與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應，開始燃燒。砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能導致人員的生命危險。因此，對系統(tǒng)設計的安全性要求十分嚴格，其中關于氣體檢測報警系統(tǒng)的設置是十分有必要的，避免氣體泄露等危險發(fā)生。

    特種氣體檢測裝置種類：

    (1)自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置、半導體檢測裝置、電化學檢測裝置。

    (2)毒性氣體檢測采用電化學檢測裝置。

    (3)根據使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置。

    特種氣體檢測裝置的安裝位置規(guī)定：

    1.自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處；

    2.生產工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設備的排風管口處；

    3.生產工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處；

    4.惰性氣體間可能產生窒息的區(qū)域；

    5.自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間；

    6.其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

    7.當特種氣體相對密度小于或等于0.75時，特種氣體探測器應同時設置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當特種氣體相對密度大于0.75時，特氣體探測器應設置在釋放源下方離地面0.3m~0.5m處。